CVD-ugn med fluidiserad bädd

Modell:TOB-1200-LTS-FB
TOB-1200-LTS-FB är en CVD-ugn med fluidiserad bädd för ytavsättning av pulver. Gas kommer in i botten av kvartsröret och passerar upp genom en porös kvartsplatta och suspenderar pulvret inuti den 200 mm uppvärmda zonen . 1200 grad på mindre än 1 timme, 1150 grader kontinuerligt.

Skicka förfrågan

chatta nu

produkt introduktion

Xiamen TOB New Energy Technology Co., Ltd. är en av de mest pålitliga tillverkarna och leverantörerna av cvd-ugnar med fluidiserad bädd i Kina. Välkommen att köpa högkvalitativ fluidiserad bädd cvd-ugn till konkurrenskraftigt pris från vår fabrik. Om du har några frågor om samarbete får du gärna maila oss.

CVD-ugn med fluidiserad bädd

Specifikation

Produktöversikt

TOB-1200-LTS-FB är en CVD-ugn med fluidiserad bädd byggd för pulverytdepositionsexperiment. Ett kvartsrör med hög renhet bär en porös kvartsplatta i sin nedre sektion; pulvret sitter på den plattan, gas matas in från botten av röret och det uppåtgående flödet genom plattan lyfter partiklarna så att de flyter in i den uppvärmda zonen medan avsättning sker.

Ugnen når 1200 grader på under 1 timme och håller 1150 grader kontinuerligt, med en 200 mm värmezon och en 100 mm konstant temperaturzon. Röret finns i Φ25mm eller Φ50mm med en längd på 600mm, och den porösa plattan är gjord för den porstorlek som ditt pulver behöver. Ett dubbelskiktsskal med luftkylning, en delad ugnskropp för rörbyten, ett kvartsrörskydd och en mekanisk tryckavlastningsventil är alla standard.

Viktiga tekniska egenskaper hos TOB-1200-LTS-FB

Specialbyggd för pulveravsättning:den porösa kvartsplattan och bottengasinloppet existerar så att partiklar suspenderas i den uppvärmda zonen, inte bara placeras i den.

Dubbellagerskal med luftkylning:det yttre skalet förblir svalare än en enväggsugn med samma kammartemperatur.

Delad, öppningsbar ugnskropp:kroppen öppnas så att kvartsröret kan bytas ut utan att ugnen måste demonteras.

Kvartsrörsskydd:en skärm runt röret förhindrar skador om kvartsen går sönder under vakuum eller termisk chock.

Mekanisk säkerhetsventil:skyddar mot övertryck om den porösa kvartsfilterplattan blockeras.

Aluminiumoxidkammare med högtemperaturbeläggning:isolering av aluminiumoxidfiber med hög renhet med en USA-importerad högtemperaturbeläggning av aluminiumoxid på kammarytan, för högre uppvärmningseffektivitet och längre kammarlivslängd.

HRE legerade värmeelement:1200 grader nås på mindre än 1 timme, 1150 grader kontinuerligt, ±1 grads noggrannhet på ett termoelement av K-typ.

Tätningsenhet i rostfritt stål:dubbel silikon O-ringfläns som standard, med valfria pumpsatser ner till 5 × 10⁻¹ Pa (mekanisk) eller 5 × 10⁻³ Pa (turbo).

Kompletta specifikationer

1. Ugnskropp och termiska specifikationer

Parameter	Specifikation
Utrustningskraft	110V 1,2KW
Kammarmaterial	Högrent aluminiumoxidfibermaterial
Värmeelement	HRE högtemperatur legerat tråd
Max temperatur	1200 grader (på mindre än 1 timme)
Kontinuerlig temperatur	1150 grader (kontinuerlig)
Temperaturnoggrannhet	±1 grad
Termoelement	K-typ termoelement
Max uppvärmningshastighet	Mindre än eller lika med 20 grader/min
Kammarstorlek	80 mm × 200 mm
Värmezonens längd	200mm
Zonens längd vid konstant temperatur	100mm

2. Kvartsrör och porös tallrik

Parameter	Specifikation
Rörstorlek	Φ25 mm eller 50 mm × 600 mm
Rörmaterial	Speciellt tillverkat kvartsrör med hög renhet
Porstorlek av porös kvartsplatta	4-550 μm, flera specifikationer tillgängliga och anpassningsbara

3. Vakuum och tätningssystem

Punkt	Specifikation
Tätningssystem	Standard: en uppsättning dubbla silikon-O-ringar i rostfritt stål tätningsfläns, med mekanisk säkerhetstryckavlastningsventil och kvartsrörsskydd
Vakuum, mekanisk pumpsats	5 × 10⁻¹ Pa (valfritt)
Vakuum, turbopumpsats	5 × 10⁻³ Pa (valfritt)

4. Mått, vikt och garanti

Punkt	Specifikation
Yttre mått	510 mm × 430 mm × 1000 mm
Nettovikt	Ca 35 kg
Garanti	Ett års garanti, livstids teknisk support

5. Förbrukningsvaror och garantiundantag

Punkt	Detalj
Förbrukningsmaterial ingår ej	Värmeelement, termoelement, provdegel och liknande förbrukningsdelar ingår inte
Frätande och sura gaser	Skador orsakade av användning av frätande gaser och sura gaser täcks inte av garantin

Styrsystem

Styrenheten körs på ett inbäddat operativsystem med en 7-tums pekskärm i sann färg. Fyra funktioner är viktiga för repeterbart pulver CVD-arbete:

Fungera	Detalj
Lagrade temperaturkurvor	15 temperaturkurvor kan förlagras, så en annan experimentell process behöver inte ställas in igen från början
Inbäddat operativsystem	Växlingsbart kinesiskt/engelskt grafiskt gränssnitt, 7-tums pekskärmsingång i sann färg, intelligent dialogläge mellan människa och maskin
Icke-linjär temperaturkorrigering	Icke-linjär provtemperaturkorrigering, för att få det visade värdet i linje med den uppmätta provtemperaturen
Schemalagd start	Tillgänglig som tillvalsfunktion, så en körning kan ställas in att börja vid en vald tidpunkt
Systemskydd	Övertemperaturlarm, termoelementbrottsindikering och läckageskydd

Skärmbilderna nedan följer ordningen på raderna ovan: det lagrade kurvbiblioteket, kurvredigeraren, det omkopplingsbara gränssnittet, icke-linjär korrigering, schemalagd start och de två skyddslarmen.

TOB-1200-LTS-FB fluidized bed CVD furnace with vertical quartz tube and split furnace body